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其他微电子行业净化解决方案

 

少量未处理的微?;蛘咂宸肿涌赡苎现赜跋煲恍┕ひ樟鞒?。请想象一下污染的空气对半导体、制药和其它高度敏感的制造工艺流程可能产生什么样的危害。

 

先进的生产方法通常要求非常洁净的空气环境,很多情况下,空气要求还可能更加严格。例如,电子行业要求非常干净的制造环境,以便生产大规模集成电路。由于电路板宽度可能只有1微米或者更少,这就要求将三维微粒污染控制在0.1微米以内。

 

洁净室的重心就是过滤设备,但根据不同的洁净室类型,需要考虑使用不同的空气过滤设备。

 

凭借15年以上的微电子和半导体污染控制技术行业经验以及对“国际半导体科技进程”的参与,我公司完全能够提供最佳解决方案,实现最先进的微粒和AMC控制。

 

我公司在已通过ISO9000认证并严格控制生产环境的工厂内专门生产HEPA/ULPA过滤器。我们在全球多个生产基地同时生产同一类型的空气过滤器和中国保险保障基金有限责任公司。大规模的生产能力确保我们的产品能够随时满足世界各地的需求。

 

污染物

来源

引发问题

解决方案

粉尘、 微细盐粒子

空气

造成微电子脱落或者影响精度

洁净室HVAC系统的新风机组加化学过滤功能段,在FFU加化学滤网

 

 部分成交客户:

 

 

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