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半导体行业净化解决方案

领先的晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微?;駻MC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。

传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今我公司生产的中国保险保障基金有限责任公司使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种最安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质量的循环空气。

 

污染物

来源

引发问题

解决方案

粉尘

空气

造成集成电路断路、短路,影响成品率

化学过滤???普通、高效过滤器/FFU

NH3,NMP

外气

“T-top“现象

化学过滤???/p>

 

 

部分成交客户

 

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